半導體集成電路是電子工業(yè)的基礎性產(chǎn)業(yè)，在推動國民經(jīng)濟增長方面發(fā)揮著重要的作用。隨著半導體集成電路技術的飛速發(fā)展， 對于生產(chǎn)過程的潔凈度等級要求也隨之不斷提高。 潔凈度的控制成為了一項專業(yè)而又關鍵性的工程。分析凈化間控制系統(tǒng)中可能接觸到的主要污染及造成污染的主要原因， 并在實際管理過程中去控制和解決這些問題。

       近幾十年來， 半導體集成電路行業(yè)得到了迅猛發(fā)展， 電子產(chǎn)品對生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高。 尤其是對潔凈度的要求非常嚴格。如何有效控制生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度也成為了提高產(chǎn)品質(zhì)量和成品率的關鍵。

       1 ：人員的管理

       人是凈化間內(nèi)主要塵源之一。 尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動， 會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。因此，要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級，對凈化間的人員活動進行控制，是有效的途徑和措施。

要把凈化間各項規(guī)章制度真正落到實處，最關鍵就是人員的日常管理，把人員凈化管理作為首要控制要素，所以應該針對凈化間進出人員進行各項培訓。

（1） 對新入職人員進行凈化間潔凈知識培訓。

（2） 對操作人員在凈化間操作設備，搬運物料的專項培訓。

（3） 對所有進出凈化間的人員進行衣著穿戴， 進出制度的培訓。

（4） 對所有人員在凈化車間的日常行為規(guī)范的培訓。

       2 ：凈化服、更衣室的管理

       更換凈化服的最好方法就是要保證凈化服外表盡可能少受到污染， 更衣室一般分成三個區(qū)： 預更區(qū)、更衣區(qū)、凈化間入口區(qū)。

一個干凈整潔的更衣室，能夠很有效地保證凈化間的潔凈度，因此加強更衣室的管理非常有必要的；

首先，更衣室內(nèi)必須干凈整潔且有良好的通風，不能有任何異味。異味主要來自人員不干凈的衣服、鞋襪，其中包含大量的酸性氣體，混入凈化間的話，會對產(chǎn)品表面產(chǎn)生腐蝕，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。因此， 除了正常的凈化服清洗外，還必須要求人員注意個人衛(wèi)生，保持衣服、 鞋襪的干凈。

其次，對于凈化服：在一般生產(chǎn)區(qū)、控制區(qū)和潔凈區(qū)的工作服在樣式、顏色方面應有明顯區(qū)分，不得混穿；

每位人員配備專用的衣柜，只用于存放非凈化服，并且要求人員脫掉非潔凈衣服時，不能把非潔凈衣服放在其他地方，必須直接放入衣柜中。在生產(chǎn)過程中，如果凈化服表面一旦有肉眼可見的污染物，必須及時更換并放入清洗區(qū)域中。

人員在進入更衣室前、中、后，必須嚴格遵守凈化間的日常管理制度。比如：

（1） 必須先把原鞋子脫下放入鞋柜。 絕對禁止穿鞋直接進入更衣室。

（2） 穿凈化服時，需先戴口罩，再穿凈化服，再穿潔凈鞋，再穿手套。

（3） 人員出凈化間后，需按照穿凈化服相反的順序脫掉凈化服。脫下的手套、口罩均一次性使用，應立即丟入垃圾桶內(nèi)，嚴謹亂扔。

更衣室執(zhí)行每日常規(guī)清潔，每周徹底清潔一次，清潔時間為取走室內(nèi)需清潔的凈化服后進行（清潔內(nèi)容包括更衣室的地面、墻面、衣柜表面，各個角落等）。

       3 ：風淋室的進出管理

       風淋室是人員進出凈化間所必須的通道， 同時起到氣閘室密閉凈化間的作用， 為了減少由于人員進出所帶來的大量塵埃粒子，經(jīng)高效過濾器過濾后的潔凈氣流由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個方向噴射至人身上，有效而迅速清除塵埃粒子，清除后的塵埃粒子再由過濾器重新循環(huán)到風淋區(qū)域內(nèi)。 所以對于人員進出風淋室的管理十分重要。人員更換好凈化服后，必須通過風淋室進入凈化間。通過時，人員數(shù)量不能超出風淋室的額定數(shù)量。

人員進入風淋室后，需站立在指定的位置，平抬雙手并轉(zhuǎn)動身體。抬起雙手時，不得碰到風淋室的任何表面，更不得私自調(diào)整風淋室噴嘴的吹淋角度。

風淋室為自動吹林并聯(lián)鎖，人員進入風淋室后，必須在吹淋結(jié)束后才可打開出口門，不得強行打開出口門，當風淋室內(nèi)有人員在吹淋時，需要進入的人員必須等到里面的人員離開風淋室并關上出口門后方可進入。

       4：物料運輸?shù)娜粘９芾?/span>

       為了避免在發(fā)料、配料過程中造成污染，所有物料進入凈化間時，必須通過貨物通道進入。 物料進入凈化間前，貨物的外包裝均需去除，在制定位置對物料進行清潔后，然后堆放在凈化間的專用托盤上，方可通過貨物通道進入凈化間內(nèi)。 另外在物料搬運時，人員避免依靠身體來搬運物料。

在凈化間中，優(yōu)化工藝路線，盡量減少物料的搬運和移動，這也是減少污染的一個重要手段。

       5：吊頂空間的管理

       吊頂空間內(nèi)要禁止非專業(yè)人員進入，吊頂空間配備專業(yè)的人員進行定期的巡視，以消除任何潛在的污染，主要措施由以下幾項：

（1）定期檢查吊頂空間的所有設備的外表面應清潔干凈、無油污、無浮塵、風管無破損現(xiàn)象；空調(diào)系統(tǒng)無滲漏，無滴水現(xiàn)象。

（2）定期檢查吊頂空間內(nèi)的風管所用螺栓、螺母、墊圈和鉚釘無腐蝕、氧化現(xiàn)象；鍍鋅鋼板不得有鍍鋅層嚴重損壞的現(xiàn)象，如表層大面積花白、鍍層粉化等。

（3）輸送可燃流體、有毒流體管道及其閥門，輸送高純氣體、高純水管道的閥門均不得有滲漏。

       6：新風系統(tǒng)的日常管理

       在廠房設計之初，無塵車間空調(diào)系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其它建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。在我們的日常管理過程中，為了避免由于新風系統(tǒng)的問題引起的凈化間顆粒增加，必須在日 常工作中嚴格執(zhí)行以下程序：

（1） 新風量的監(jiān)測，保證進入空調(diào)系統(tǒng)的新風量符合實際的要求.

（2） 按照規(guī)定定期清洗或更換系統(tǒng)中的初、中效過濾器。

（3） 定期巡視新風系統(tǒng)管道有無泄漏。

（4） 定期檢查，清潔行風系統(tǒng)管道， 避免微生物的滋生。

       7：FFU運行的日常管理

       FFU是整個凈化間中保證凈化間潔凈度的關鍵部件，F(xiàn)FU的狀態(tài)是否良好決定著凈化間潔凈度是否達標的關鍵因素。為了保證凈化間的潔凈度符合生產(chǎn)要求，我們著重從以下幾個方面來監(jiān)測 FFU的運行狀態(tài)：

（1）定期地、分區(qū)域地測試FFU的風速，確認FFU的運行風速是否處于0.35m/s± 20%的狀態(tài)。

（2）定期地、分區(qū)域地逐臺掃描FFU的高效過濾器，確認高效過濾器是否正常工作，避免高效過濾器的泄漏導致凈化間內(nèi)的潔凈度超標。

（3）預防性的抽查FFU高效過濾器的阻力，在FFU高效過濾器達到終阻力之前，分區(qū)域， 提前安排高效過濾器的更換；

（4） 定期測試凈化間內(nèi)各區(qū)域的潔凈度，如果在某區(qū)域監(jiān)測到粒子超標現(xiàn)象，我們立即啟動應急響應，對此區(qū)域的所有FFU高效過濾器進行逐臺掃描，查找泄漏點，并總結(jié)引起泄漏的原因，采取相應的糾正預防措施。

凈化間潔凈度的控制是一項非常專業(yè)而又復雜的綜合性工程，只有不斷提高人員的素質(zhì)，增強人員的自覺性和工作責任心，加強對凈化間的日常管理。不僅可以大幅度地降低凈化間的運行成本，同時又可以提高產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。

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